解决方案

在半导体行业生产、制造及储存等过程中，为了避免这些危险气体的泄露导致的生命财产损失，需要安装气体检测仪器，来对目标气体进行检测。 易燃性气体 硅烷SiH4是一种易燃、有毒的危害性气体。硅烷主要用于半导体工业生产高纯多晶硅。 乙硼烷B2H6，极易燃且剧毒，常温下为无色气体，用作火箭和导弹的高能燃料。同时用作高纯度硼单晶及十硼氢的原料，也用作半导体工业的掺杂源。 有毒有害气体 如砷化氢AsH3、磷化氢PH3、硅烷SiH4、溴Br2、氟F2、氰化氢HCN、氟化氢HF等，这些气体一旦发生泄漏，会对身体产生极大的伤害。 砷化氢AsH3，有剧毒，用于半导体工业中，如外延硅的N型掺杂、硅中N型扩散、离子注入、生长砷化镓(GaAs)、磷砷化镓(GaAsP)以及与某些元素形成化合物半导体。 磷化氢PH3，是一种无色、剧毒、易燃的储存于钢瓶内的液化压缩气体。半导体行业中，主要用于硅烷外延的掺杂剂，磷扩散的杂质源。